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超精密微孔加工设备CL-UlDrill 50
来源：华科机械学院小博士
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作者：华科机械学院小博士
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发布时间：:2025-12-24
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超精密微孔加工设备CL-UlDrill 50是面向微米级超精密微结构加工领域的模块化设备，可适配多种应用场景。通过不同配置组合，支持激光精密微孔、刻蚀、切割及车削等加工方式。设备兼容纳秒、皮秒、飞秒激光器，可选配5D旋切扫描模组或振镜扫描模组，并具备双相机、激光及接触式测距模式。功能上集成视觉定位、光束整形与在线校正，搭载自研CAM软件，支持大幅面图形拼接，提供自动化及数字化软硬件接口。
产品概述
超精密加工系列产品定位在微米级超精密微结构加工领域。产品采用模块化设计理念适配各类应用场景，通过不同配置组合，可实现激光精密微孔、刻蚀、切割以及车削等加工方式。
功能特性
01
兼容纳秒、皮秒、飞秒等不同类型激光器
02
可选配搭载5D旋切扫描模组、振镜扫描模组
03
可选配双相机、激光及接触式测距模式
04
具备视觉定位功能
05
具备光束整形、光束在线校正功能
06
搭载自研CAM软件，可实现大幅面图形拼接
07
具备自动化及数字化软硬件接口
参数指标
| X/Y/Z轴行程（mm） | 500/400/300 |
| 主轴最高转速(rpm/min) | 6000(车铣机型) |
| X/Y/Z轴定位精度(mm) | 0.002/0.002/0.004 |
| X/Y/Z轴重复定位精度(mm) | 0.001/0.001/0.002 |
| X/Y/Z轴快移速度(m/min) | 30/30/ 10 |
| 打孔精度(mm) | ±0.002 |
| 打孔表面粗糙度(/) | Ra0.4 |
| 刻蚀精度(mm) | ±0.002 |
| 刻蚀表面粗糙度(μm) | Ra0.6 |
| 切割精度(mm) | ±0.003 |
| A轴旋转角度(°) | ±120 |
| A轴定位/重复精度(") | ≤20/≤8 |
| 旋转同心度(mm) | ±0.02 |
| C轴旋转角度(°) | Nx360 |
| C轴定位/重复精度(") | ≤20/≤10 |
| 旋转同心度(mm) | ±0.02 |
| 设备重量（kg） | 4200 |
| 外形尺寸（mm）（宽X深X高） | 2000X1800X2300 |
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